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沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响(英文)
沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响(英文)
来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jinshuxian
【摘 要】
:
采用温度梯度法,通过MW-ECR射频磁控溅射在硅片基底上制备了六方和立方混合的氮化硼薄膜。研究了薄膜的键结构,化学成分和力学性能。结果显示,对于氮化硼立方相的出现存在温
【作 者】
:
王明娥
巩水利
马国佳
刘星
张林
王达望
陆文琪
董闯
【机 构】
:
大连理工大学,北京航空工业制造研究所高能束流加工技术国家重点实验室
【出 处】
:
稀有金属材料与工程
【发表日期】
:
2015年5期
【关键词】
:
氮化硼薄膜
溅射
温度梯度法
硬度
boron nitride film
sputtering
gradient temperature
hardness
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采用温度梯度法,通过MW-ECR射频磁控溅射在硅片基底上制备了六方和立方混合的氮化硼薄膜。研究了薄膜的键结构,化学成分和力学性能。结果显示,对于氮化硼立方相的出现存在温度阈值,薄膜的硬度随沉积温度提高而提高。相对于传统薄膜制备方法,温度梯度方法具有更高的效率。
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