【摘 要】
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用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法在硅衬底上沉积类金刚石(DLC)薄膜,通过控制甲烷(CH4)与氩气(Ar)流量的比值(VCH4/VAr)分别在上极板和下极板上沉积制备出一系列D
【机 构】
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厦门大学能源学院 厦门361102
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用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法在硅衬底上沉积类金刚石(DLC)薄膜,通过控制甲烷(CH4)与氩气(Ar)流量的比值(VCH4/VAr)分别在上极板和下极板上沉积制备出一系列DLC薄膜,用Raman光谱等检测技术表征了DLC薄膜的结构、表面粗糙度、表面形貌和硬度.结果 表明:随着VCH4/VAr比例的改变在下极板可制备出含有不同sp3和sp2杂化态比例(Ssp3/Ssp2)的DLC薄膜.随着VCH4/VAr的提高,在下极板沉积的DLC薄膜的Ssp3/Ssp2杂化态比值先上升后下降,VCH4/VAr=1时的Ssp3/Ssp2杂化态比值达到最高1.34;而在上极板沉积的DLC样品其Ssp3/Ssp2比例没有明显的变化.在上极板进气口沉积样品比在下极板出气口沉积样品重复性好,样品更光滑致密、硬度更高.
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