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简要分析了朗谬尔探针用于真空电弧镀膜等离子体诊断的可行性及理论适用性问题。介绍了一种可用于ＶＡＣ等离子体在线监测的探针诊断系统，并利用此系统分析了不同工艺参数一等离子体参数的变化。
朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究
【摘 要】
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简要分析了朗谬尔探针用于真空电弧镀膜等离子体诊断的可行性及理论适用性问题。介绍了一种可用于ＶＡＣ等离子体在线监测的探针诊断系统，并利用此系统分析了不同工艺参数一等离子体
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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1996年4期
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