【摘 要】
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给出由硅磁敏三极管和两个聚磁结构构成的磁场传感器。聚磁结构为镍铁合金材料制作的梯形结构,可放大外加磁场,硅磁敏三极管能够实现外加磁场测量,聚磁结构改善了磁场传感器
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61971180)
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给出由硅磁敏三极管和两个聚磁结构构成的磁场传感器。聚磁结构为镍铁合金材料制作的梯形结构,可放大外加磁场,硅磁敏三极管能够实现外加磁场测量,聚磁结构改善了磁场传感器磁灵敏度特性。利用ANSYS有限元软件构建了聚磁结构仿真模型,研究了结构尺寸对聚磁性能的影响,在此基础上采用电火花技术制作了聚磁结构,同时采用MEMS技术在p型高阻单晶硅上设计、制作了磁敏三极管芯片,利用微电子封装工艺实现了磁敏三极管和聚磁结构的无磁化封装。当电源电压V DD=5.0 V、集电极负载电阻R L=2.3 kΩ、基极注入电流I b=8
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