MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展

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相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键。针对开展MEMS微观摩擦磨损研究的需要,概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器,包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(FFM)等探针类实验装置以及球-盘式、销-盘式、针-盘式和微轴承式摩擦副的微摩擦磨损实验装置,着重介绍了它们的工作原理和适用对象。并根据MEMS技术的发展现状,对微观摩擦磨损实验仪器的发展趋势进行了展望。 The friction and wear problems of micro-electromechanical systems (MEMS) devices are more prominent than the traditional ones. Studying the friction and wear of MEMS and providing effective lubrication means the key to ensure the function and service life of the device. In order to carry out the research on microscopic friction and wear of MEMS, the commonly used microscopic friction and wear testing instruments are summarized, including probe type experimental devices such as scanning tunneling microscope (STM), atomic force microscope (AFM) and friction microscope (FFM) Type, pin-disc, needle-disc and micro-friction bearing friction micro-experimental device, focusing on their work principle and applicable objects. According to the development of MEMS technology, the development trend of microscopic friction and wear testing equipment is prospected.
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