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期刊论文
铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用
铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maturevice
【摘 要】
:
对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压
【作 者】
:
忻佩胜
丁玲
石艳玲
朱自强
赖宗声
【机 构】
:
华东师范大学信息科学技术学院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年12期
【关键词】
:
MEMS开关
铝硅合金膜
电容式开关
微电子
RF MEMS switch; AlSi alloy
coplanar waveguide(CPW)
【基金项目】
:
国家重点基础研究发展计划(973计划),国家自然科学基金,国家自然科学基金,高等学校博士学科点专项科研项目,上海市应用材料研究与发展基金
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对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压,约为28V,在10GHz处的隔离度大于15dB.
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