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密封器件内部气体分析方法 ,可广泛用于微电子、航空航天、金属、陶瓷、食品、医药、化工等涉及材料、气体变化的领域 ,并且可以贯穿于产品的整个寿命周期。介绍了密封器件内部气体分析方法的背景、仪器及其应用
密封器件内部气体分析方法综述
【摘 要】
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密封器件内部气体分析方法 ,可广泛用于微电子、航空航天、金属、陶瓷、食品、医药、化工等涉及材料、气体变化的领域 ,并且可以贯穿于产品的整个寿命周期。介绍了密封器件内
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2001年01期
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