【摘 要】
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本文介绍了用激光化学汽相沉积（LCVD）球面微透镜的技术。首先对用LCVD法获得球面微透镜进行了理论分析,并用微计算机分析了在实验条件下,TEM00模CO2激光照射石英玻璃衬底在其表
【机 构】
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华南理工大学电子与通信工程系,华南理工大学电子与通信工程系,广州
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本文介绍了用激光化学汽相沉积（LCVD）球面微透镜的技术。首先对用LCVD法获得球面微透镜进行了理论分析,并用微计算机分析了在实验条件下,TEM00模CO2激光照射石英玻璃衬底在其表面产生的温度场,分析了在一定沉积条件下的微透镜厚度剖面形状,同时还用微计算机分析了平行光入射微透镜时的光学聚焦特性。分析与实践结果表明,只要适当地控制和调节沉积工艺,便可获得良好光学特性的氮化硅球面微透镜。
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