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介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析.讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系.
悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析
【摘 要】
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介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析
【机 构】
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厦门理工学院,厦门大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2005年2期
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