2.45GHz单电荷态电子回旋共振离子源

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描述了一台 2 .4 5GHz单电荷态电子回旋共振 (ECR)离子源的原理、结构与应用。介绍了其微波系统与磁场结构。在微波输入功率约 6 0 0W ,引出高压 2 2kV ,引出孔径为6mm时 ,该离子源的总束流I(H1++H2 ++H3+)可达 90mA。
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