【摘 要】
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考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求，提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSPTMS320C6414芯片为主
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考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求，提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSPTMS320C6414芯片为主控制器．Altcra公司的EP2S60F102014N为协控制器，设计了以EP2C5Q208CSN~可编程器件的信号采集模块、传感器模块和驱动电路等方面，并通过实验证明整个控制系统的稳定性、快速性和准确性。
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