周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kpqkxx03592

【摘要】

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分析了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系.基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模拟了KB系统的成像质量,用W/B4C周期多层膜反

【作者】

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伊圣振穆宝忠王新黄圣铃朱京涛王占山丁永坤缪文勇

【机构】

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同济大学精密光学工程技术研究所,中国工程物理研究院激光聚变研究中心

【出处】

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强激光与粒子束

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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Kirkpatrick-Baez显微镜 X射线成像周期多层膜像质 Kirkpatrick-Baez microscope X-ray imaging per

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)

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分析了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系.基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模拟了KB系统的成像质量,用W/B4C周期多层膜反射镜进行了X射线成像实验,在±100 μm视场内得到优于5 μm的空间分辨力结果.实验与模拟结果的对比表明,加工精度和球差是影响中心视场分辨力的关键因素,有效视场的大小受多层膜角度带宽的限制.

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