MEMS法布里-珀罗滤波芯片及其光谱探测应用研究进展

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangjunshisb
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
光谱探测技术在未来智能装备中发挥着视觉检测、理化分析和过程控制等智能识别的作用,广泛应用于食品安全、医学诊断、环境监测、防伪鉴别、植物病害抑制、预警侦察等领域。传统光谱探测系统因受限于分光元件而存在体积大、成本高和定制化能力有限等问题。基于微机电系统(MEMS)技术的法布里-珀罗(FP)滤波芯片为微型化、低成本和定制化的光谱探测系统提供了新的解决途径。近三十年来,针对实用化MEMS-FP滤波芯片的研究已取得长足的进展,并已应用于实际的微小型光谱探测系统中,但在芯片制造、器件性能和系统集成方面仍面临诸多要攻克的难题。对MEMS-FP滤波芯片的原理和性能、器件分类、实用化研究进展进行了综述,并分析了目前存在的问题和未来的发展趋势。
其他文献
第三代半导体氮化镓(Gallium Nitride,GaN)具有禁带宽(3.4eV)、抗辐射强、击穿电压高、热导率高等优异特质,在电子、光电子等领域有着不可替代的作用。目前GaN基器件的制造主要采用干法刻蚀,需要应用昂贵的设备和复杂的工艺。简单的湿法光电化学(photoelectrochemistry,PEC)刻蚀可以避免上述缺点,但采用现有的PEC方法加工化学性质极端惰性的GaN不仅刻蚀速度慢,
学位
致病基因预测对于推进致病机制的研究起到了重要的作用,是生物信息学研究中的一个重要课题。由于单源生物数据存在的高噪声和高维度问题,极大程度地影响了数据的可靠性。鉴于生物学家通常倾向于整合多源数据来避免偏差,本文对多源特征的融合方式进行了相关研究。具体地,本文从特征融合和模型融合的角度对致病基因的预测问题进行了研究。具体研究内容如下:(1)为了充分挖掘基因-基因关联网络中的拓扑信息,本文构建了基于网络
学位
针对中国健康街道缺乏本土化指标的问题,以我国城市街道为研究对象,在健康街道理念下,采用影响要素筛选的评估方法,提出以街道环境、公共空间、交通通行、街道安全、设施公平5项健康评价影响要素,通过居民意向调查,采集街道的特征、交通行为数据,并依据我国街道设计标准,构建在公众参与下科学的健康街道量化评价指标。研究表明,该指标能更清晰地反映我国街道健康问题,适用不同等级的街道,为健康街道设计及评价提供参考依
期刊
针对肝脏肿瘤CT图像的目标检测是智慧医疗建设的重要组成部分,然而由于肝脏CT图像中的肿瘤具有目标尺度跨度大、小目标多、分布稀疏、目标边缘模糊、背景复杂等诸多特点,导致肝脏CT图像中的肿瘤小目标检测仍然是一项极具挑战性的任务。论文将自适应训练样本选择(Adaptive Training Sample Selection,ATSS)引入肝肿瘤目标检测领域,提出一种小目标检测模型IPSC-ATSS(Im
学位
微创外科手术由于其术后恢复快,并发症少等优点已成为主流的手术方式之一。但其也存在缺陷,在传统的开腔手术中,医生能够凭借视觉和触觉的感知定位手术环境中的神经血管束。而在微创外科手术中,医生根据内窥镜提供的手术视觉(视频画面)操纵手术工具进行手术,该过程中医生失去了触觉感知,且仅凭肉眼无法观察到视频图像中组织表面细微的脉动运动,从而无法精准感知神经血管的位置与运动状态等重要信息。因此,医生在微创手术过
学位
中国保险业自上个世纪八十年代以来步入了快速发展的阶段,我国保险行业的发展也引起了国内外资本的广泛关注,同时,伴随着改革开放和中国加入WTO,中国市场正不断吸引外国资本进入,与此同时带来的是我国保险市场的资本组成和公司性质开始逐渐多样化,保险行业市场主体越来越多,保险行业的市场规模越来越大,民众认可度也越来越高。无论是中国保险市场的保费收入体量、保费深度、保费密度,还是保险系统机构数量都有了快速的提
学位
自法拉第发现磁光效应以来,磁光器件的应用已经成为光通讯以及集成光路等领域中不可或缺的一部分。磁光材料作为磁光器件中的核心,对器件的性能起决定性作用。而磁光材料中的磁光晶体由于其高透过率,优异的磁光性能,高温稳定性,在各类磁光器件的制作上占据了最为重要的地位。基于此本文研究了广泛应用于磁光器件中的铽镓石榴石(TGG)晶体,以及下一代高级替代物,热门磁光晶体铽钪铝石榴石(TSAG)晶体的制备。主要包括
学位
<正>设计意图中国神州载人飞船成功发射,中国空间站的“天宫课堂”,都引发了大班孩子对中国运载火箭及载人飞船的兴趣。前期我们在班级开展了关于中国运载火箭的相关活动,在此基础上,我设计了“造火箭”活动,借助情境引入,让幼儿寻找制作材料、安装火箭零件,最终共同完成模拟火箭的发射任务,在此过程中感知和理解行与列,并通过层层的学习与挑战,不断激发幼儿参与活动的兴趣,培养幼儿认真专注、不怕困难等良好的学习品质
期刊
用于天文高分辨光谱波长定标的法布里-珀罗标准具(FPE)具有宽波长覆盖与密集透过峰序列的光谱,有望实现比传统定标源更高的波长定标精度。然而FPE透过峰波长是未知的,这为定标带来了挑战。本研究在不借助额外精密测量设备(如傅里叶变换光谱仪)情况下,使用天文高分辨光谱仪常规定标源钍氩灯(ThAr)为FPE提供波长信息,再利用FPE密集的透过峰序列以及电介质反射膜穿透深度与波长关系的平滑性质,修正波长信息
期刊
本论文包含两部分的工作,第一部分是N-芳基仲酰胺与异腈酸酯成环反应合成2,3-二取代喹唑啉-4-酮的方法学研究(第二章),第二部分是四氢异喹啉生物碱(-)-quinocarcin的不对称全合成探索(第三章)。一、N-芳基仲酰胺与异腈酸酯成环反应合成2,3-二取代喹唑啉-4-酮的方法学研究(第二章)发展了以Tf2O/2-Br-Py体系为基础,活化仲酰胺并与异氰酸酯成环反应直接制备2,3-二取代喹唑啉
学位