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ASML集团公司（ASML Holding NV）在美国旧金山举行的SEMICON West展会上发布多项全新光刻设备,让芯片制造商能够继续缩小半导体器件尺寸。FlexRay（可编程照明技术）和BaseLiner（反馈式调控机制）为ASML一体化光刻技术（holistic lithography）的一部分，具有高稳定性，能够优化和稳定制造工艺。