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在双极型集成电路生产中高阻外延的问题
在双极型集成电路生产中高阻外延的问题
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yaoyaosara
【摘 要】
:
<正> 在双极型集成电路生产中,某些品种的电路,特别是线性电路,要求其外延层的电阻率为1.0~7.0Ω·cm,通称为高阻外延层。 在生产实践中,我们发现,使用在水平反应室内用Si
【作 者】
:
席奎德
【机 构】
:
常州半导体厂
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
双极型集成电路
高阻外延
线性电路
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<正> 在双极型集成电路生产中,某些品种的电路,特别是线性电路,要求其外延层的电阻率为1.0~7.0Ω·cm,通称为高阻外延层。 在生产实践中,我们发现,使用在水平反应室内用SiCl_4+H_2热还原法生长的n型高阻外延层制造管芯时,有些片子可以制出合格的
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