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期刊论文
低阈值电压RFMEMS开关的力学模型
低阈值电压RFMEMS开关的力学模型
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hamainini
【摘 要】
:
采用大激励极板的螺旋型膜开关在保持优异的高频特性的同时,可以获得较低的阈值电压.但是对这种结构的设计缺乏足够理论分析.文中将在Ansys软件数值求解的基础上,研究缺口尺
【作 者】
:
郑惟彬
黄庆安
李拂晓
金玉丰
【机 构】
:
东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室,南京电子器件研究所,北京大学微电子研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
微机电系统
阈值电压
RFMEMS开关
力学模型
ANSYS软件
缺口尺寸
threshold voltage
gap
n umerical solution
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采用大激励极板的螺旋型膜开关在保持优异的高频特性的同时,可以获得较低的阈值电压.但是对这种结构的设计缺乏足够理论分析.文中将在Ansys软件数值求解的基础上,研究缺口尺寸和开关阈值电压的关系,其结果对设计低驱动开关有一定指导意义.
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