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<正> 金属氧化膜类湿度传感器一般分为两类:一类是电容式,一类是电阻式。电容式的以Al_2O_3和Ta_2O_5氧化膜湿度传感器为代表;电阻式的以Fe_3O_4氧化膜湿度传感器为代表。
化学量传感器：第二讲 湿度传感器
【摘 要】
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<正> 金属氧化膜类湿度传感器一般分为两类:一类是电容式,一类是电阻式。电容式的以Al_2O_3和Ta_2O_5氧化膜湿度传感器为代表;电阻式的以Fe_3O_4氧化膜湿度传感器为代表。
【机 构】
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机电部哈尔滨电子敏感技术研究所,机电部哈尔滨电子敏感技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1989年2期
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