溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的研究

来源 :电子测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户：litang007

【摘要】

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采用溶胶-凝胶法在锌片和硅片表面制备氧化锌薄膜.采用XRD、SEM等分析测试手段对比了不同的配置比和衬底对氧化锌薄膜的相组成和显微形貌的影响.实验结果表明:与Si片相比,Zn

【作者】

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阮兴祥房慧黄灿胜张富春张威虎杨延宁

【机构】

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广西民族师范学院物理与电子工程学院,延安大学物理与电子信息学院,西安科技大学通信与信息工程学院

【出处】

：

电子测试

【发表日期】

：

2017年5X期

【关键词】

：

薄膜氧化锌溶胶-凝胶法

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采用溶胶-凝胶法在锌片和硅片表面制备氧化锌薄膜.采用XRD、SEM等分析测试手段对比了不同的配置比和衬底对氧化锌薄膜的相组成和显微形貌的影响.实验结果表明:与Si片相比,Zn片衬底对样品的衍射峰幅度产生一定的影响;所制备出来的样品都在衍射角2θ=34.4°附近出现衍射峰;当Zn2+浓度不同时,得到的ZnO薄膜的形貌不同.

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