压阻式加速度计在高g值冲击测量中的失效研究

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在我们应用压阻式加速度计测量20000g冲击加速度的实践中,发现了压阻式加速度计的严重失效问题,并对采用机械滤波器解决冲击信号高频分量引起压阻式加速度计共振失效问题进行了初步研究分析,我们认为加速度计失效的主要原因是疲劳问题,主要方法应该是改进敏感元件的制造工艺技术,提高表面质量。
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