【摘 要】
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本文对关联式气体流量调节器的工作原理进行了分析,获得了气体流量与阀通径之间的函数关系,结果表明,此调节器的设计可以实现气体流量的梯度变化,为沉积梯度薄膜提供了可能。
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院,苏州大学物理科学与技术学院,苏州大学物理科学与技术学院,苏州大学物理科学与技术学院
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本文对关联式气体流量调节器的工作原理进行了分析,获得了气体流量与阀通径之间的函数关系,结果表明,此调节器的设计可以实现气体流量的梯度变化,为沉积梯度薄膜提供了可能。
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