【摘 要】
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介绍了扫描电镜中的一种背散射电子采集和测量系统 ,该系统能探测那些较低能量损失且散射角接近 1 80°的背散射电子。测量了在Au、Pt、Ag和C靶中的低失能近轴背散射电子的背
【机 构】
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介绍了扫描电镜中的一种背散射电子采集和测量系统 ,该系统能探测那些较低能量损失且散射角接近 1 80°的背散射电子。测量了在Au、Pt、Ag和C靶中的低失能近轴背散射电子的背散射率。结果显示该探测系统比常规电镜中的探测系统具有更高的成分衬度 ,因此在靶成分的分析中有广阔的应用前景。
Describes a backscatter electron acquisition and measurement system in scanning electron microscopy that detects backscattered electrons with lower energy losses and scattering angles approaching 180. The backscatter of the low-loss paraxial backscattered electrons in Au, Pt, Ag and C targets was measured. The results show that the detection system has higher contrast of composition than that of the conventional electron microscope. Therefore, it has a broad application prospect in the analysis of target components.
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