微型机电系统的建模与仿真研究

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【摘要】

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概述了开展微型机电系统 (MEMS)建模与仿真研究的意义和必要性.提出了MEMS建模与仿真技术的特点:(1)多物理场耦合;(2)材料特性的变化;(3)依赖快速有效的算法;(4)原子尺度仿真

【作者】

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霍德鸿梁迎春程凯

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【出处】

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机械设计

【发表日期】

：

2002年10期

【关键词】

：

微型机电系统建模仿真 MEMS(Micro Electro Mechanical System) Modeling Simulation

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概述了开展微型机电系统 (MEMS)建模与仿真研究的意义和必要性.提出了MEMS建模与仿真技术的特点:(1)多物理场耦合;(2)材料特性的变化;(3)依赖快速有效的算法;(4)原子尺度仿真.分别从器件级仿真、过程仿真和系统级仿真三个层次说明了MEMS仿真的方法.最后结合MEMS建模与仿真技术的发展现状,指出了该领域今后的发展趋势.

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