透射电子显微镜高压电源箱气体绝缘技术及充气工艺

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本文通过比较高压系统常用气态绝缘介质的性能,对比影响气体绝缘性能的关键参数,给出了透射电子显微镜高压电源箱绝缘材料的优化选择,介绍了六氟化硫(SF6)气体在透射电子显微镜高压电源绝缘中的应用,计算了充SF6绝缘气体的高压电源箱,并给出了透射电子显微镜高压箱的绝缘充SF6气体工艺。 In this paper, by comparing the performance of common gaseous insulating media used in high pressure system and comparing the key parameters that affect the performance of gas insulation, the optimal choice of insulating materials for high voltage power box of transmission electron microscope is given. The effect of SF6 gas on transmission electron microscope The application of high voltage power supply insulation, high voltage power supply box filled with SF6 insulating gas was calculated, and the insulation filled SF6 gas process of transmission electron microscope high voltage box was given.
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