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本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计,对放电参数进行了分析,根据离子束流的质谱测量可知,氮离子束中N+与N+2之比可高达5∶1,大大优于其他的一些离子束源.对这个离子束源的应用作了简单的介绍.
氮原子离子束源的设计研制与应用
【摘 要】
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本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计,对放电参数进行了分析,根据离子束流的质谱测量可知,氮离子束中N+与N+2之比可高达5∶1,大大优于其他的一些离子束源.
【机 构】
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上海市机电工业学校,先进光子学材料与器件国家重点实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年1期
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