【摘 要】
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为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了 pH 值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明：不同氧化剂的抛光液在各自的最佳 pH 值时达到最大的材
【机 构】
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河南科技学院机电学院,驻马店技师学院机械工程系,河南理工大学机械与动力工程学院
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为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了 pH 值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明：不同氧化剂的抛光液在各自的最佳 pH 值时达到最大的材料去除率,分别为181 nm/min（H 2 O 2抛光液,pH=9）,177 nm/min（Cr2 O 3抛光液,pH=11）,172 nm/min（Na2 Cr2 O 7抛光液,pH=11）和147 nm/min（NaClO 抛光液,pH=13）；抛光液中氧化剂含量、pH 值对抛光后不锈钢的表面粗糙度影响较小。其中,材料去除率较高的H
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