高性能简式反磁控冷阴极电离规的研制

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangxi0922
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就放电空间磁场强度及其分布对冷规灵敏度、运用条件等的影响进行了分析和讨论,提出了使冷规获得高灵敏度的磁场分布新观点,并给出了高灵敏度冷规的磁结构。新磁结构冷规性能测试表明:由于灵敏度的提高,在2×10~(-8)Pa时,冷规着火时间可缩短40%;所用磁钢中心值可从1600高斯降至900高斯,工作电压也可降低600伏,冷规成本因此约降低50%;此外,电压值的降低还使得漏电减小了一个数量级,从而拓宽了可测下限。 The influences of the magnetic field intensity and its distribution in the discharge space on the sensitivity and operating conditions of the cold gauge are analyzed and discussed. A new view of the magnetic field distribution that makes the cold gauge obtain high sensitivity is proposed, and the magnetic structure with high sensitivity and cold gauge is given. The cold performance test of the new magnetic structure shows that the ignition time of the cold gauge can be shortened by 40% at 2 × 10 ~ (-8) Pa due to the improvement of sensitivity; the central value of the magnet can be reduced from 1600 Gauss to 900 Gauss, The voltage can also be reduced by 600 volts and the cost of the cold gauge reduced by approximately 50%. In addition, the reduction of the voltage also reduces the leakage by an order of magnitude, broadening the measurable lower limit.
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