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KrF光刻:使命未尽
KrF光刻:使命未尽
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wormchen
【摘 要】
:
由于芯片制造者竭力与摩尔定律保持一致,半导体产业便无疑成为娴熟的光学光刻所拒绝放弃任何可能的机会.光刻设备不断地突破其先前所认定的极限,达到越来越新的前沿.目前,采
【作 者】
:
立文
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
光学光刻
特征尺寸
生产水平
摩尔定律
激光光源
光刻设备
制造者
步进机
半导体
芯片
前沿
复印
产业
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由于芯片制造者竭力与摩尔定律保持一致,半导体产业便无疑成为娴熟的光学光刻所拒绝放弃任何可能的机会.光刻设备不断地突破其先前所认定的极限,达到越来越新的前沿.目前,采用248 nm波长的KrF激光光源的最高生产水平的片子步进机,常规复印的特征尺寸已达180 nm.rn
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