【摘 要】
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研究分析了MEMS悬臂梁的静态力学特性.对比分析了集总式静力学模型和枢纽式静力学模型.对于集总式静力学模型,将MEMS悬臂梁的下拉位移假设为处处相等的普通电容极板,得到悬臂
【机 构】
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南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院,南京210023
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研究分析了MEMS悬臂梁的静态力学特性.对比分析了集总式静力学模型和枢纽式静力学模型.对于集总式静力学模型,将MEMS悬臂梁的下拉位移假设为处处相等的普通电容极板,得到悬臂梁下拉位移和下拉电压.对于枢纽式静力学模型,将MEMS悬臂梁假设为下拉位移处处不等的转轴,通过寻找悬臂梁在下拉过程中的等效受力点,得到下拉位移和下拉电压.比较了两种模型的静电力学下拉位移与下拉电压的相对误差.结果 表明,集总式静力学模型的误差为20.5％,枢纽式静力学模型的误差仅有5.3％.这表明,枢纽式静力学模型的特性优于集总式静力学模型.
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