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针对扩散硅压力传感器所存在的温度漂移和非线性等问题，分析并建立了对其实现综合补偿的方程式，并利用单片机予以实现，最终使数字压力计的精度达到０．０５级。
扩散硅压力传感器的综合补偿及其应用
【摘 要】
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针对扩散硅压力传感器所存在的温度漂移和非线性等问题，分析并建立了对其实现综合补偿的方程式，并利用单片机予以实现，最终使数字压力计的精度达到０．０５级。
【机 构】
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上海大学,上海自动化仪表四厂
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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1996年2期
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