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对软Ｘ射线与界面相互作用的规律进行初步研究，给出了软Ｘ射线界面散射的一级近似一般理论推导，从中给出了粗糙界面软Ｘ射线的散射传输特性，表明在粗糙表面上软Ｘ射线的镜向反射系数，需要做与粗糙度有关的数学修正。作为形式上的一种方法，本文还给出了粗糙表面对软Ｘ射线全反射的动力学模型，以及一维软Ｘ射线散射测量粗糙度原理。通过实验测量了λ＝２４３Ａ，２５６Ａ时具有超光滑表面的Ｍｏ，Ｓｉ样品之反射率和λ＝４４．６Ａ时石英超光滑样品的反射率。采用镀碘化铯的方法，使“真空紫外—软Ｘ光反射率计”的可测量短波长从２００Ａ降至１０