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用来替代哈勃望远镜的下一代太空望远镜(NGST)的开发和部署是美国航空与航天局(NASA)为推进宇宙探索的一个挑战性项目.NGST上装配一个包括0.6～5μm多目标分光计的照相机/分光计系统.为从太空的不同区域有选择地将光线引导至分光计,采用可独立寻址的微电子机械反射镜阵列作为分光计的狭缝掩模.Goddard太空飞行中心的NASA小组设计了一套能够满足系统要求的集成微反射镜阵列(MMA/CMOS)驱动器芯片.样机的芯片构造和检测结果均符合预期要求.欲构建完全基于MEMS的狭缝掩模,设计要求4片大规模集成芯