微反射镜阵列相关论文
在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。......
为满足45 nm及其以下节点光刻技术对照明系统的需求,将深紫外光刻照明系统的光束整形单元所采用的微反射镜阵列(MMA)作为关键器件,......
红外动态目标模拟器系统是红外制导武器半实物仿真系统中的核心设备,具有重大的军事和经济意义。本文以某型号空地导弹成像导引头......
光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址......
用来替代哈勃望远镜的下一代太空望远镜(NGST)的开发和部署是美国航空与航天局(NASA)为推进宇宙探索的一个挑战性项目.NGST上装配......
概述了微反射镜阵列器件的分类、其主要驱动方式,以及现有商用阵列器件的情况。就4种驱动方式,介绍了其机电特性和工艺特点,并进行比......
微反射镜阵列是微光电机系统领域中一种重要的光学器件,可以广泛地运用于各种宏观光学领域中,包括扫描器、空间光调制器等,它使得......
红外动态目标模拟器系统是红外制导武器半实物仿真系统中的关键设备。以某型空地导弹导引头半实物仿真系统为应用对象,以微反射镜......
随着光纤通信技术的发展和密集波分复用(DWDM)系统的应用,全光交换已经成为一种趋势,光开关是实现全光交换的关键器件,它可以实现全光层的路......
在激光的实际应用中,需要利用光束整形技术将激光器的输出光束调制为期望的光强分布。微机电系统的发展为光束整形提供了一种解决......
由于能量限制空间光通信系统的光束发散角通常非常小,因此利用激光光束进行瞄准、捕获和动态跟踪是非常困难的。APT(捕获、瞄准、......
红外动态目标模拟器系统是红外制导武器半实物仿真系统中的核心设备,具有重大的军事和经济意义。以某空地导弹成像导引头半实物仿......
红外场景仿真器是红外制导武器半实物仿真系统中的核心设备。该文章以某型号反坦克导弹导引头半实物仿真试验为应用对象,以微反射......