等价掺杂转换理论预示扩散-外延穿通P-N结的击穿电压和击穿峰值电场强度

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kamomoo

【摘要】

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基于等价掺杂转换理论的应用，得到了解析计算扩散-外延穿通P-N结击穿电压和击穿峰值电场强度的一系列结果．介绍了等价掺杂转换方法的基本理论，然后运用该理论得到了用于低压功率

【作者】

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何进张兴黄如王阳元

【机构】

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北京大学微电子学研究所,

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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扩散-外延穿通P-N结击穿电压击穿峰值电场强度等价掺杂转换方法

【基金项目】

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国家重点基础研究发展计划(973计划);

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基于等价掺杂转换理论的应用，得到了解析计算扩散-外延穿通P-N结击穿电压和击穿峰值电场强度的一系列结果．介绍了等价掺杂转换方法的基本理论，然后运用该理论得到了用于低压功率器件优化设计的系列击穿电压和击穿峰值电场强度计算公式，并正确地预示了最大击穿电压和击穿峰值电场强度的位置．理论结果显示出与以前的数值分析结果很好的一致性．

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