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193nmArF浸没式光刻技术PK EUV光刻技术
193nmArF浸没式光刻技术PK EUV光刻技术
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:MWinnie
【摘 要】
:
2006年11月英特尔决定采用193nmArF浸没式光刻技术研发32nm工艺。2007年2月IBM决定在22nm节点上抛弃EUV光刻技术,采用193nmArF浸没式光刻技术。对于32nm/22nm工艺.193nmArF浸没
【作 者】
:
翁寿松
【机 构】
:
无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
32
nm工艺
22
nm工艺
193
NM
ArF浸没式光刻技术
EUV光刻技术
32 nm technology
22 nm technology
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2006年11月英特尔决定采用193nmArF浸没式光刻技术研发32nm工艺。2007年2月IBM决定在22nm节点上抛弃EUV光刻技术,采用193nmArF浸没式光刻技术。对于32nm/22nm工艺.193nmArF浸没式光刻技术优于EUV光刻技术,并将成为主流光刻技术。
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