微电子用聚酰亚胺亚胺化峰

来源 :华中理工大学学报(社会科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:wessyy
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介绍了高分子聚合物聚酰亚胺的亚胺化原理和实用的方法,实验发现薄膜材料红外吸收峰800cm-1,的强弱与亚胺化程度有关;给出的判别与计量方法能确定材料的亚胺化程度。 The imide principle and practical method of macromolecule polymer polyimide are introduced. It is found that the intensity of infrared absorption peak of film material is about 800cm-1, which is related to the degree of imidization. The discriminant and measurement methods given can be determined The degree of imidization of the material.
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