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介绍电子束曝光机的图形发生器系统中用以解决硬件化高速扫描特殊图形和硬件过于复杂的特殊图形辅助发生器，叙述了它的工作原理，硬件配置和软件设计及特殊图形的描述参数和计算公式。
电子束曝光机特殊图形辅助发生器
【摘 要】
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介绍电子束曝光机的图形发生器系统中用以解决硬件化高速扫描特殊图形和硬件过于复杂的特殊图形辅助发生器，叙述了它的工作原理，硬件配置和软件设计及特殊图形的描述参数和计算
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
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1995年4期
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