电容式薄膜真空计的研制

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本文介绍了这种传感器的特点,测量原理。叙述了所研制的传感器的形式、结构、材料以及使用情况。一、前言在粗、低真空测量中,通常使用水银(或油)的U型管、弹簧管真空表、热偶真空计、电阻式真空计。这些真空计工作原理简单,操作方便,得到广泛的使用。但这些真空计的测 This article describes the characteristics of this sensor, measurement principle. Describes the form of the developed sensor, structure, materials and usage. First, the preface In the rough, low vacuum measurement, usually using mercury (or oil) U-tube, spring tube vacuum gauge, thermocouple vacuum gauge, resistance vacuum gauge. These gauges work principle is simple, easy to operate, widely used. But these vacuum gauge test
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