【摘 要】
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An optical readout uncooled infrared (IR) imaging detector of bimaterial cantilever array using knife-edge filter operation (KEFO) is demonstrated. The angle ch
【出 处】
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Optoelectronics Letters
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An optical readout uncooled infrared (IR) imaging detector of bimaterial cantilever array using knife-edge filter operation (KEFO) is demonstrated. The angle change of each cantilever in a focal plane array (FPA) can be simultaneously detected with a resolution of 10-5 degree. A deformation magnifying substrate-free micro-cantilever unit with multi-fold interval metallized legs is specially designed and modeled. A FPA with 160×160 pixels is fabricated and thermal images with noise equivalent temperature difference (NETD) of 400 mK are obtained by this imaging detector.
An optical readout uncooled infrared (IR) imaging detector of bimaterial cantilever array using knife-edge filter operation (KEFO) is demonstrated. The angle change of each cantilever in a focal plane array (FPA) can be detected simultaneously with a resolution of 10- 5 度. A deformation magnifying substrate-free micro-cantilever unit with multi-fold interval metallized legs is specifically designed and modeled. A FPA with 160 × 160 pixels is fabricated and thermal images with noise equivalent temperature difference (NETD) of 400 mK are got by this imaging detector.
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