【摘 要】
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在半导体制造过程中,调整设备相关参数以提高晶圆质量的同时又会造成换模时间的增加,从而导致产品生产周期的延长。为了有效地解决此类问题,对带换模约束的非等效并行机多作
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(71071115,61273035)~~
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在半导体制造过程中,调整设备相关参数以提高晶圆质量的同时又会造成换模时间的增加,从而导致产品生产周期的延长。为了有效地解决此类问题,对带换模约束的非等效并行机多作业族调度方法进行了研究。在描述问题域的基础上,试图在设备参数调整次数与换模次数之间寻求一个均衡点,以实现系统最小Makespan为调度目标,建立数学规模模型,构建了求解此类并行机调度问题的改进型多态蚁群算法,并对提出的调度算法进行了仿真实验分析。结果表明所构建的算法是有效、可行的。
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