用PCVD技术沉积TiN涂层的研究

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本文用直流等离子体化学气相沉积技术,在高速钢、Cr12、40Cr、GCr15及38CrMoA钢渗氮、40Cr渗硼、42CrMo钢喷涂镍基合金的试样上沉积TiN涂层。对TiN涂层进行了晶体结构、组织、断口形貌及性能测试和分析。 In this paper, DC plasma CVD technology was used to deposit TiN coating on high-speed steel, nitrided steel of Cr12, 40Cr, GCr15 and 38CrMoA, nitrided 40Cr and boron coated 42CrMo steel. TiN coating was crystal structure, microstructure, fracture morphology and performance testing and analysis.
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