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阐述了用离子辅助沉积(IAD)工艺制备氧化钛(TiO2)光学薄膜的光学、应力及微观特性,并讨论了其与离子辅助沉积成膜工艺参数之间的相互关系.
离子辅助沉积TiO2光学薄膜的特性
【摘 要】
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阐述了用离子辅助沉积(IAD)工艺制备氧化钛(TiO2)光学薄膜的光学、应力及微观特性,并讨论了其与离子辅助沉积成膜工艺参数之间的相互关系.
【机 构】
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株式会社光驰
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年2期
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