【摘 要】
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氮化硅陶瓷具有耐高温、高强度、高硬度、高热导的特点,是大功率电子元器件散热基板的重要材料。针对高热导氮化硅陶瓷材料,阐述了影响氮化硅陶瓷热导率的关键因素,综述了高热导氮化硅陶瓷材料的研究和制备现状,展望了高热导氮化硅陶瓷基板材料的未来发展与应用前景。
【基金项目】
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中国科学院无机功能材料与器件重点实验室开放课题(KLIFMD-2018-06);
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氮化硅陶瓷具有耐高温、高强度、高硬度、高热导的特点,是大功率电子元器件散热基板的重要材料。针对高热导氮化硅陶瓷材料,阐述了影响氮化硅陶瓷热导率的关键因素,综述了高热导氮化硅陶瓷材料的研究和制备现状,展望了高热导氮化硅陶瓷基板材料的未来发展与应用前景。
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