【摘 要】
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采用数值计算模型,计算了旋转圆柱靶溅射产额分布。数值计算中假设从靶溅射出来的粒子服从余弦函数定律。计算得到的单靶溅射产额分布和Al靶在Ar气压0.4Pa测量得到的实验值基
【机 构】
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皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所,
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采用数值计算模型,计算了旋转圆柱靶溅射产额分布。数值计算中假设从靶溅射出来的粒子服从余弦函数定律。计算得到的单靶溅射产额分布和Al靶在Ar气压0.4Pa测量得到的实验值基本相同。同时计算了孪生旋转圆柱靶的溅射产额分别与靶基距、靶间距,以及靶旋转角度的相关性。
Using numerical calculation model, the output distribution of spins on rotating cylindrical target was calculated. It is assumed in the numerical calculation that the particles sputtered from the target obey the law of cosine function. Calculated single target sputtering yield distribution and Al target Ar gas pressure 0.4Pa measured the experimental value is basically the same. The correlation between the sputtering yield and the target distance, the target spacing and the target rotation angle were also calculated.
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