聚乙烯醇—氯化锂湿敏薄膜的制备与表面形貌

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：timeman

【摘要】

：

为了制得均匀完整的薄膜,以提高薄膜的湿敏性能,采用溶胶–凝胶工艺和提拉成膜技术,以正硅酸乙酯、异丙醇铝等金属醇盐为原料,将适量的聚乙烯醇(PVA)加入其中,在氧化铝陶瓷基

【作者】

：

鲍际秀张良莹姚熹

【机构】

：

上海交通大学HDTV研究所,同济大学功能材料研究所,同济大学功能材料研究所

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2003年5期

【关键词】

：

溶胶-凝胶湿敏薄膜相对湿度龟裂聚乙烯醇-氯化锂 sol-gel humidity sensitivity thin film relative hum

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为了制得均匀完整的薄膜,以提高薄膜的湿敏性能,采用溶胶–凝胶工艺和提拉成膜技术,以正硅酸乙酯、异丙醇铝等金属醇盐为原料,将适量的聚乙烯醇(PVA)加入其中,在氧化铝陶瓷基片上制备出了孔率更大、更均匀的复合湿敏薄膜.实验表明:薄膜先体溶胶粘度与放置时间、温度和PVA的含量有关;薄膜的表面形貌与PVA的含量、先体溶胶的粘度等密切相关;同时用干涉显微镜测试了一层湿敏膜的厚度为0.13m.

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