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介绍一种可用于沉积类金刚石薄膜的过滤式真空电弧沉积系统,研究了利用该系统制备的类金刚石薄膜的Raman光谱测试结果。实验表明,所设计的系统能可靠地触发并运行100A的碳电弧,电弧连续稳定燃烧的时间长于10min。在Si(001)、硬质合金和不锈钢等衬底上成功地制备出DLC薄膜,沉积速度约为60nm/min。Raman光谱表明,所制备的DLC涂层具有非晶结构,且sp^3含量比脉冲激光沉积的类金刚石薄