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研究了汽相沉积过程中的衬底表面结构的成核热力学，计算了平面与凹结构内的临界核形成能，表明与平面相比成核优先在凹结构发生。指出通过人工微结构的设计。可以实现在凹结构内生长出点状结构，即在非平面上生长出点状结构阵列。
衬底表面对成核的影响
【摘 要】
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研究了汽相沉积过程中的衬底表面结构的成核热力学，计算了平面与凹结构内的临界核形成能，表明与平面相比成核优先在凹结构发生。指出通过人工微结构的设计。可以实现在凹结构内
【机 构】
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曲阜师范大学物理系
【出 处】
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青岛大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2000年3期
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