金属诱导横向结晶多晶硅薄膜晶体管热载流子应力退化特性及模型研究

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低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)广泛应用于平板显示。从开态和关态两个方面,研究了热载流子(HC)应力下,N型金属诱导横向结晶(MILC) LTPST TFT器件退化特性及模型。
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