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利用电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度试验机等分析手段,对采用焊接复合式靶材,在钛表面沉积出的钯膜层进行分析研究。结果表明:钯膜层具有电弧离子镀典型特征,膜层的厚度为1,2-2μm,膜层致密。提高膜层的沉积温度使膜层与基体之间生成Ti4Pd相。膜层的表面硬度约为2GPa,在膜层与基体之间由于生成了Ti4Pd相,硬度增加到2.8GPa。