【摘 要】
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本文叙述了采用溴做为硅的一种汽相腐蚀剂在外延生长之前进行就地腐蚀的一些结果。并分别给出了溴汽相腐蚀速度与溴的浓度及温度之间的关系,对高温氢处理与溴汽相腐蚀效果也
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本文叙述了采用溴做为硅的一种汽相腐蚀剂在外延生长之前进行就地腐蚀的一些结果。并分别给出了溴汽相腐蚀速度与溴的浓度及温度之间的关系,对高温氢处理与溴汽相腐蚀效果也做了比较。最后指出了溴是一种能在较低温度下(1050℃)给出较好汽相腐蚀作用的汽相腐蚀剂。
This article describes some of the results of in situ corrosion of a vapor phase etchant using bromine as silicon prior to epitaxial growth. The relationship between vapor phase bromine bromine concentration and bromine concentration and temperature is also given respectively. The effect of high temperature hydrogen treatment and bromine vapor phase etching is also compared. Finally, bromine is a vapor phase etchant that gives better vapor phase corrosion at lower temperatures (1050 ° C).
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