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集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。
半导体场效应型气体传感器的研究现状与未来
【摘 要】
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集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1993年3期
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